half-node是對工藝的一種定義方法。和它相關的概念是parent node。 從字面上理解half-node,意思就是在兩個parent node的 中間位置。
parent node就是我們經常說的180nm、130nm、90nm、65nm、45nm、32nm、22nm等工藝節點。大家可以看到這些數字的排列比較有規律。
half-node包括下列工藝節點:110nm、80nm、55nm、40nm、28nm、18nm。除了180nm的parent node, 沒有對應的half-node外,其它工藝都有對應的half-node。
half-node就是不改變電路設計的情況下,利用光刻 技術縮小chip的die size, 即shrink。這對於已經量產的芯片降低成本、減小功耗都有非常重要的意義。
但是如果芯片的設計涉及第三方IP,尤其是模擬IP,可能shrink會遇到麻煩。